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製程窗口分析
製程窗口分析
輸入兩個製程參數與良率數據,繪製製程窗口圖,找出良率最高的參數組合範圍。
參數設定
參數 A 名稱(橫列)
參數 B 名稱(直欄)
參數 A 水準數(2–8)
參數 B 水準數(2–8)
良率輸入矩陣(%)
列 = 溫度(°C),欄 = 壓力(bar)
溫度(°C) ↓ / 壓力(bar) →
分析製程窗口