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工具製程窗口分析

製程窗口分析

輸入兩個製程參數與良率數據,繪製製程窗口圖,找出良率最高的參數組合範圍。

參數設定

良率輸入矩陣(%)

列 = 溫度(°C),欄 = 壓力(bar)

溫度(°C) ↓ / 壓力(bar)