那天 PM 完輸送帶，卻發現良率從 99.8% 掉到 99.5%
還記得前幾年，我們有一條產線的晶圓輸送帶，每次 PM 完，良率反而會小幅下滑，大概從 99.8% 掉到 99.5% 左右。這 0.3% 看起來不多，但在我們這行，就是直接影響 DPMO 從 2000 飆到 5000，老闆臉都綠了。設備仔每次檢查都說沒問題，PM 表也確實勾了，但晶圓就是會偶爾偏掉，或是輸送過程中產生微小震動，最後 Wafer Map 出來就是會有一兩顆不良。那陣子我跟產線經理吵到快翻臉，他堅持是設備問題，設備堅持是製程問題，說穿了就是「不知道問題在哪」。
問題出在哪？其實是 PM 的「眉角」沒抓到
其實，輸送帶系統的 PM 計畫，表面上看起來很簡單，就是張力、對齊、軸承這三項。但說實話，這三項的「眉角」才是關鍵。很多人以為把螺絲鎖緊、皮帶拉直就好，但魔鬼藏在細節裡。你想想看，晶圓在上面跑，一點點的偏差，累積起來就是大的影響。這不是在組裝樂高，而是要確保每片晶圓都能「如履平地」。
實際上怎麼做？用數字說話
所以重點是，這三項要怎麼「精準」執行？
- 張力 (Tension)：你不能只用手去摸。我們後來買了數位張力計，直接給出一個公斤力數值。假設原廠規範是 100 ± 5 kgf，那你的 PM 目標就是讓它落在這個區間。但更進階的做法是，你應該在不同的速度下測量，因為皮帶在高速運轉時的張力會稍微變化。我們曾發現，有些設備在低速是 102 kgf，高速卻只剩 90 kgf，這就是問題！
- 對齊 (Alignment)：這個更不能憑感覺。我們要求設備組用雷射對齊儀，從頭到尾掃過輸送帶的兩側。如果發現偏差值超過 0.5 mm，就必須調整。很多人會忽略皮帶兩側的平行度，只看中間有沒有歪。但說穿了，如果兩邊不平行，皮帶受力就不均勻，時間久了就會變形，晶圓在上面跑當然會歪。
- 軸承 (Bearing)：這項最容易被忽略。你不能只聽有沒有異音，有些軸承剛開始壞，聲音不明顯，但內部滾珠已經開始磨損，這會導致輸送帶震動，只是幅度很小，肉眼難察覺。我們後來導入了振動分析儀，每半年檢測一次軸承的頻譜。如果偵測到特定頻率的異常峰值，即使沒有異音也要預防性更換。記得有一次，一個軸承的 Cpk 掉到 1.08，我們就直接換掉，避免了後續可能發生的產線停擺。
最常見的坑：PM 報告勾了，但沒說「怎麼勾」
我遇過最常見的坑就是 PM 報告勾了，但沒說「怎麼勾」。設備工程師為了趕時間，可能手摸一下覺得緊了就算張力合格，肉眼看過去沒歪就算對齊合格。坦白講，這不是他們不想做好，而是沒有被要求用「數字」和「工具」來驗證。還有一個是，很多人會忘記「環境因素」。輸送帶旁邊如果剛好有大型機台震動，或是溫濕度變化大，這些都會影響輸送帶的穩定性，但 PM 計畫裡卻沒有納入考量。
今天能做的一件事
把你的輸送帶 PM 流程，加入「量化工具」的要求，別再只靠感覺了！